本文标题:扫描电子显微镜机构组成
信息分类:站内新闻 新闻来源：未知 发布时间：2014-4-7 12:42:08
扫描电子显微镜机构组成
扫描电子显微镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像
系统。扫描电子显微镜真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空泵用来在真空柱内产生真空。有机泵、扩散泵以及涡分子泵三
类，但对于发射枪或镧枪，则需要机泵加涡分子泵的组合。
成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为密封，用
于放置样品。所以原电子束系统中的灯丝氧化而失效，还需要以纯
氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。电子束
系统由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极
窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。
电子枪用于产生电子两类，一类是利用发射产生电子，称为场致发
射电子枪。需要小极高真空。不需要电磁透镜系统。
另一类则是利用热发射产生电子，成像不如其他两种明亮，常作为标
准配置。需要略高于钨枪的真空产生过度饱和和热激发问题。
电磁透镜热发射电子需要电磁透镜来成束，所以电磁透镜必不可少。
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