本文标题:扫描电子显微镜工作距离与历史
信息分类:站内新闻 新闻来源：未知 发布时间：2014-4-10 10:05:38
扫描电子显微镜工作距离与历史
扫描电子显微镜工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。增加距
离可以在条件不变的情况下获得更大的场深。减少距离则可以在其不
变的情况下获得更高的分辨率。
成象次级电子和背散射电子可以用于成象，但后者不如前者，所以通
常使用次级电子。表面分析欧革电子、特征X射线、背散射电子的产
过程均与样品原子性质有关，所以可以用于成分分析。但由于电子束
只能穿透样品表面很浅的一层（，所以只能用于表面分析。
表面分析以特征射线常用到的探测器有两种：能谱分析仪与波谱分析
仪。前者速度快精度不高，后者精确检测到痕迹元素但耗时太长。
1929 年诺贝尔物理奖得主提出电子本身具有波动的物理特性， 进一
步提供电子显微镜的理论基础。1926发现电子可像光线经过玻璃透镜
偏折一般， 由电磁场的改变而偏折。
1931德国物理学家首先发展出穿透式电子显微镜原型机。1937原型机
制造成功。 1938 第一部扫描电子显微镜发展成功。1938穿透式电子
显微镜正式上市
1940推出美国第一部穿透式电子显微镜。1958年中国科学院组织研制
， 1975年第一台扫描电子显微镜在中国科学院科研发成功。1980年
引进美国技术，开发了扫描电镜。
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