本文标题:电子显微镜扫描电镜的结构和工作原理
信息分类:站内新闻 新闻来源：未知 发布时间：2014-5-6 16:46:25
电子显微镜扫描电镜的结构和工作原理
电子显微镜扫描电镜的镜筒包括电子枪、聚光镜、物镜及扫描系统
。其作用是产生很细的电子束，并且使该电子束在样品表面扫描，
同时激发出各种信号。
电子显微镜电子信号的收集与处理系统在样品室中，扫描电子束与
样品发生相互作用后产生多种信号，其中包括二次电子、背散射电
子、射线、吸收电子、电子等。
电子显微镜在上述信号中，最主要的是二次电子，它是被入射电子
所激发出来的样品原子中的外层电子，产生于样品表面以下区域，
其产生率主要取决于样品的形貌和成分。
电子显微镜通常所说的扫描电镜像指的就是二次电子像，它是研究
样品表面形貌的最有用的电子信号。
电子显微镜检测二次电子的检测器的探头是一个闪烁体，当电子打
到闪烁体上时产生光，这种光传增管信号转变信号，再放大信号转
变成电压最后被送栅极。
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