本文标题:原子力显微镜利用光学检测法

原子力显微镜利用光学检测法

原子力显微镜利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微悬臂
对应于扫描各点的位置变化获得信息。

激光检测原子力显微镜扫描探针显微镜家族中最常用的一种，说
明其工作原理。

原子力显微镜二极管激光器发出的激光束经过光学系统聚焦在微
悬臂背面，并从微悬臂背面反射到由光电二极管构成的光斑位置
检测器。

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