本文标题:扫描电子显微镜工作原理
信息分类:站内新闻 新闻来源：未知 发布时间：2014-4-10 10:04:57
扫描电子显微镜工作原理
探测收集转变为光信号，再经光电和放大器转变为电信号来控制屏上
电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，
反映了标本的外部结构。
为了使标本外观发射出次级电子，标本在固定、脱水后，要喷涂上一
层重金属微粒，重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。
光学显微镜由电子枪发射的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚
光镜及物镜的缩小形成能谱仪获得。具有一定能量、强度微细电子束
，在扫描驱动下样品外部，形貌观察式扫描。
聚焦电子束与相互作，产生二次电子发射信号。二次电子信号被探测
器收集转换成电讯号，经放大后输入栅极，调制与入射电子束同步扫
描的显像管亮度，得到二次电子像。
放大率与普通光学显微镜不同，是通过控制扫描区域的大小来控制放
大率的。如果要高的放大率，只需要扫描小块就可。放大率由面积除
以扫描面积得到。所以透镜与放大率无关。
场深在焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而
成象。小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以用于纳米样品的
三维成像。
电子束与表层发生作用，它实际上厚度范围内发生作用体积的厚度因
信号的不同而不同。
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